Norme ISO
L'élément le plus important est la quantité de particules par unité de volume et c'est le seul paramètre contrôlé pour certaines salles propres aux critères plus souples.On classifie les salles blanches suivant le nombre de particules par unité de volume. Le standard traditionnel US FED STD 209E utilisait les pieds cube mais il est remplacé par le standard ISO 14644-1 exprimé en mètres cube qui correspond à la norme européenne.
Toutes ces mesures se font à l'aide d'un appareil de mesure : Le compteur de particules qui va compter le nombre de particules dans un volume donné et donc déterminer la classe de la salle blanche.
particules /m³
Classe | 0,1 µm | 0,2 µm | 0,3 µm | 0,5 µm | 1 µm | 5 µm |
---|---|---|---|---|---|---|
ISO 1 | 10 | 2 | ||||
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
ISO 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
ISO 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
ISO 7 | 352 000 | 83 200 | 2 930 | |||
ISO 8 | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | |||
ISO 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |